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近日,西安和其光電科技股份有限公司(以下簡稱“和其光電”)最新研發(fā)的多款紅外測溫設備成功交付,標志著我國半導體領域又一關鍵設備實現(xiàn)了國產替代,突破了“卡脖子”難題。
半導體制造需要經歷晶圓生長、外延、刻蝕等多個工序,在每個工序中,溫度的控制和監(jiān)測對于確保產品質量和一致性至關重要。長期以來,我國半導體領域的高端測溫設備一直被國外廠商壟斷,成為制約芯片產業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題。尤其近年來,在美國的極力遏制打壓下,國內半導體企業(yè)已經遭遇“斷供”,國產替代刻不容緩、迫在眉睫。
“2022年8月,我們瞄準國產替代,啟動了技術攻關,與行業(yè)伙伴共渡難關。”和其光電研發(fā)總監(jiān)方笑塵說。
經過研發(fā)人員夜以繼日持續(xù)攻堅克難,最終,半導體的紅外測溫領域所有技術路線都被打通,測溫精度最高達到±0.15%,各項指標已經達到或超過國外同類產品。在此基礎上,和其光電一鼓作氣相繼推出了十幾款產品,以滿足各類半導體企業(yè)的不同需求。
(關鍵字:半導體)
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